सेमीकंडक्टर क्षैतिज डबल-पक्षीय कोटिंग उत्पादन लाइन

सेमीकंडक्टर क्षैतिज डबल-पक्षीय कोटिंग उत्पादन लाइन
कोटिंग उत्पादन लाइन एक मॉड्यूलर संरचना को अपनाती है, जो प्रक्रिया और दक्षता आवश्यकताओं के आधार पर कक्षों को जोड़ने की अनुमति देती है, जिससे दोहरे तरफा कोटिंग, लचीलापन और सुविधा संभव होती है; आयन सफाई प्रणाली, तीव्र तापन प्रणाली और डीसी मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग प्रणाली से सुसज्जित, जो मौलिक धातु कोटिंग्स को कुशलतापूर्वक जमा करने में सक्षम है; तेज चक्र समय, सुविधाजनक क्लैम्पिंग, उच्च दक्षता।
कोटिंग उत्पादन लाइन की विशेषता
- कोटिंग उत्पादन लाइन आयन सफाई और उच्च तापमान बेकिंग सिस्टम से सुसज्जित है, जो जमा फिल्मों के बेहतर आसंजन को सुनिश्चित करती है;
- छोटे कोण जमाव के साथ घूर्णन लक्ष्य छोटे व्यास आंतरिक सतहों पर फिल्मों जमा करने के लिए लाभप्रद; छोटे पदचिह्न के साथ कॉम्पैक्ट उपकरण संरचना;
- कम ऊर्जा खपत के लिए आणविक पंप से सुसज्जित वैक्यूम प्रणाली; सामग्री रैक की स्वचालित वापसी जिससे श्रम की बचत होती है;
- प्रक्रिया मापदंडों का पता लगाने योग्य होना, जिससे उत्पादन के दौरान पूर्ण-प्रक्रिया निगरानी संभव हो सके, उत्पादन दोषों के निवारण में सुविधा हो;
- कोटिंग लाइन में स्वचालन की उच्च डिग्री, ऊपरी और निचले कार्य केंद्र के निर्बाध कनेक्शन के लिए रोबोटिक भुजाओं के साथ संगत, श्रम लागत को कम करना;
- संधारित्र विनिर्माण प्रक्रियाओं में, उच्च दक्षता और कम लागत के लिए सिल्वर पेस्ट प्रिंटिंग की जगह ले सकता है।
- तात्विक धातुओं जैसे कि Ta, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn के लिए उपयुक्त, व्यापक रूप से अर्धचालक इलेक्ट्रॉनिक घटकों में उपयोग किया जाता है, जैसे कि सिरेमिक सब्सट्रेट, सिरेमिक कैपेसिटर, एलईडी सिरेमिक ब्रैकेट, आदि।
मॉड्यूलर डिजाइन
विस्तार
एकाधिक फिल्म प्रणाली संयोजन
पूर्णतः स्वचालित: नियंत्रण
व्यापक निगरानी
उच्च दक्षता और ऊर्जा की बचत
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